基本信息

（MEMS）即微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems），是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的21世紀前沿技術(shù)。隨著技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)的成熟，MEMS已經(jīng)作為一種基本加工工藝和制造理念，滲入到高科技領(lǐng)域及產(chǎn)品的方方面面。在消費電子、物聯(lián)網(wǎng)、石油勘探、開采、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療、生化、汽車工業(yè)、航空航天以及國家安全等領(lǐng)域，MEMS具有巨大的市場需求和國產(chǎn)化需要。
作為中國最專業(yè)、知名度最高、最權(quán)威的MEMS展覽會，CHINA MEMS2018取得了極大的成功。專業(yè)觀眾集中在半導(dǎo)體、汽車、電子制造、消費類電子、軍工、航空航天、傳感器、物聯(lián)網(wǎng)等多個領(lǐng)域。國際專業(yè)觀眾來自28個國際和地區(qū)。全球知名的MEMS應(yīng)用與代工廠商、設(shè)備廠商、MEMS重點實驗室專家及科技部863計劃微納制造技術(shù)主題專家參加了我們的展出和高層論壇。
我們期待更多的企業(yè)參加我們的展會與論壇，進行同行業(yè)間的合作與交流，在展示形象、拓展市場的同時，尋求合作伙伴和發(fā)展商機。同時，也希望通過我們的努力使貴公司能夠在此屆展會與論壇上取得最大的收獲！
同期會議：中國MEMS制造大會，China MEMS 2019

展品范圍

MEMS 加工設(shè)備
薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù)；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導(dǎo)線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產(chǎn)設(shè)備
納米壓印技術(shù)
微納米模型；納米壓印生產(chǎn)設(shè)備
納米機械
微制程技術(shù)
超精度納米機械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統(tǒng)；微放電加工；超聲波設(shè)備等
分析與檢測儀器
光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng)；顯微鏡：光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)
軟件建模
設(shè)計工具、仿真軟件、CAD & CAE分析軟件
MEMS 代工服務(wù)
仿真設(shè)計、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn)；其他代工服務(wù)：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
材料
壓電薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗壓材料、附著材料、保護材料；碳納米管、藍寶石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、鐵電性材料
生物技術(shù)
與醫(yī)療應(yīng)用
MEMS 在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)等
MEMS 器件
光學(xué)MEMS (反射, 光量開關(guān), 掃描等)；射頻MEMS (開關(guān)，振蕩器，過濾)；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微射流（微流引導(dǎo)，微感應(yīng)器等）；MEMS執(zhí)行器（燈，泵）；MEMS電能（燃料電池，微發(fā)電機等）；生物/化學(xué)MEMS（DNA/RNA技術(shù)，化學(xué)檢測等）；高復(fù)合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)
MEMS 應(yīng)用
產(chǎn)品 (麥克風(fēng),顯示等)；超微型機械人裝置、微型工廠等；傳感器網(wǎng)絡(luò)；能量收集

主辦信息

指導(dǎo)單位：
中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會
中國科學(xué)院
主辦單位：
中國微米納米技術(shù)學(xué)會
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會
中國材料研究學(xué)會納米材料與器件分會
合作伙伴：
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會
中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
蘇州中科院產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新與育成中心
承辦單位：
江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心
中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會
上海卓格展覽服務(wù)有限公司

聯(lián)系信息

參展聯(lián)系
手機：13584824068
郵箱：wancd@sipac.gov.cn